等离子体及其应用概述

目前,等离子体技术已在材料、微电子、化工、机械及环保等众多学科领域中得到较广泛地应用,并已初步形成一个崭新的工业-等离子体工业。本文就等离子体在薄膜材料、煤化学催化材料、环境净化材料这三方面进行具体的论述1]。