影响磁盘光刻图形质量的因素分析

本文叙述了影响光刻伺服图形质量的各种因素，主要可分为磁盘光刻过程中半导体工艺产生的质量误差和机械定位不准产生的伺服图形偏心误差，并提出了消除产生误差的可行措施。