影响AlN陶瓷热导率的本征氧缺陷

对ＡｌＮ晶格中的铝空位，延展缺陷等进行了研究，研究表明，在固溶氧浓度较低（〈０．７５，原子百分数）的高热导率ＡｌＮ试样中，铝空位的存在会造成的ＡｌＮ晶胞局域收缩的现象，并观察到了铝空位的存在；固溶氧浓度较高（〉０．７５％）时，孤立的缺陷产生团聚，形成铝氧八面体；在氧浓度很高（〉０．７５％）的低热导率试样中观察到了反相区，多型体等延展缺陷。