| 基体负偏压及占空比对电弧离子镀CrN薄膜表面大颗粒和厚度的影响 |
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| 引用本文： | 郭朝乾,林松盛,石倩,韦春贝,李洪,苏一凡,唐鹏,汪唯,代明江.基体负偏压及占空比对电弧离子镀CrN薄膜表面大颗粒和厚度的影响[J].电镀与涂饰,2019(13). |
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| 作者姓名： | 郭朝乾 林松盛 石倩 韦春贝 李洪 苏一凡 唐鹏 汪唯 代明江 |
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| 作者单位： | 广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东 广州 510651;广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东 广州 510651;广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东 广州 510651;广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东 广州 510651;广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东 广州 510651;广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东 广州 510651;广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东 广州 510651;广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东 广州 510651;广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东 广州 510651 |
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| 基金项目： | 广东省科学院创新人才引进资助项目;广东省自然科学基金;广州市科技计划;广东省科学院科技提升项目;广东省科技计划;广东省科技计划 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 氮化铬 薄膜 电弧离子镀 基体负偏压 占空比 表面形貌 沉积速率 |
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