| 蓝宝石化学机械抛光液的研究进展 |
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| 引用本文： | 屈明慧,牛新环,侯子阳,张银婵,朱烨博,闫晗,罗付.蓝宝石化学机械抛光液的研究进展[J].电镀与涂饰,2022,41(3):211-216. |
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| 作者姓名： | 屈明慧 牛新环 侯子阳 张银婵 朱烨博 闫晗 罗付 |
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| 作者单位： | 河北工业大学电子信息工程学院,天津市电子材料与器件重点实验室,天津 300130 |
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| 基金项目： | 天津市特派员基金;河北省自然科学基金;国家02科技重大专项课题 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 蓝宝石 化学机械抛光 抛光液 磨料 添加剂 综述 |
Progress in research of slurry for chemical mechanical polishing of sapphire |
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| QU Minghui,NIU Xinhuan,HOU Ziyang,ZHANG Yinchan,ZHU Yebo,YAN Han,LUO Fu.Progress in research of slurry for chemical mechanical polishing of sapphire[J].Electroplating & Finishing,2022,41(3):211-216. |
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| Authors: | QU Minghui NIU Xinhuan HOU Ziyang ZHANG Yinchan ZHU Yebo YAN Han LUO Fu |
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