| 四氟化硅气体中杂质的检测方法 |
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| 引用本文： | 唐安江,韦德举,高珊珊,关星宇.四氟化硅气体中杂质的检测方法[J].无机盐工业,2010,42(12). |
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| 作者姓名： | 唐安江 韦德举 高珊珊 关星宇 |
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| 摘 要： | 介绍了四氟化硅气体中几类杂质的检测方法,主要包括气相色谱法、傅里叶变换红外光谱法、质谱法和微波波谱法。用气相色谱仪可以检测出四氟化硅中气体中C1~C4碳氢化合物;用高分辨率傅里叶变换红外光谱仪可以检测出SiF3OH,HF,SiF3H,SiF2H2,SiH3F,CO2,CO等气体杂质;用微波波谱仪可以检测出四氟化硅中CHF3,CH2F2,CH3F等气体杂质;用质谱仪可以检测出四氟化硅中SiF3H,SiF2H2,SiF3OSiF3等气体杂质。通过对比得出每种检测方法的优点和缺点。
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| 关 键 词： | 四氟化硅 气相色谱仪 傅里叶红外光谱仪 质谱仪 微波波谱仪 |
Detecting methods for impurities in silicon tetrafluoride gas |
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| Tang Anjiang,Wei Deju,Gao Shanshan,Guan Xingyu.Detecting methods for impurities in silicon tetrafluoride gas[J].Inorganic Chemicals Industry,2010,42(12). |
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| Authors: | Tang Anjiang Wei Deju Gao Shanshan Guan Xingyu |
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