一种光刻胶专用树脂的生产方法及应用

光刻胶是微电子技术领域关键性基础材料,通常由树脂、感光剂、溶剂及各种添加剂组成。本文介绍了光刻胶专用树脂的生产工艺原理,探讨了光刻胶专用树脂生产工艺流程,总结了光刻胶专用树脂应用情况。