| 靶用钌粉的制备 |
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| 引用本文： | 章德玉,雷新有,张建斌.靶用钌粉的制备[J].过程工程学报,2015,15(2):324-329. |
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| 作者姓名： | 章德玉 雷新有 张建斌 |
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| 作者单位： | 天水师范学院化学工程与技术学院,甘肃天水,741001 |
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| 摘 要： | 采用超重力旋转填料床一段H2O2选择性氧化-真空蒸馏分离锇.在分离锇后的一次氯钌酸盐酸蒸馏余液中加入H2SO4和Na Cl O3,二段氧化-真空蒸馏分离钌和残留锇.氧化蒸馏出的Ru O4经盐酸吸收还原所得精制氯钌酸盐酸吸收液中加入适量H2O2,再经NH4Cl结晶沉淀得到氯钌酸铵,在氢气气氛下煅烧还原制得海绵钌.王水与HF混合煮洗、水洗干燥,所制钌粉纯度达99.999%以上,符合钌溅射靶材的原料要求.分析了锇、钌分步氧化蒸馏分离机理.
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| 关 键 词： | 超重力旋转填料床 钌 锇 氧化 蒸馏 分离 |
| 收稿时间： | 2014-8-18 |
| 修稿时间： | 2015-3-4 |
Preparation of Ruthenium Powder as Sputtering Target Material |
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| ZHANG De-yu
,
LEI Xin-you
,
ZHANG Jian-bin.Preparation of Ruthenium Powder as Sputtering Target Material[J].Chinese Journal of Process Engineering,2015,15(2):324-329. |
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| Authors: | ZHANG De-yu LEI Xin-you ZHANG Jian-bin |
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| Affiliation: | ZHANG De-yu;LEI Xin-you;ZHANG Jian-bin;College of Chemical Engineering and Technology, Tianshui Normal University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | supergravitational rotating packed bed reactor ruthenium osmium oxidation distillation separation |
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