|
|||||
|
|
| 超高纯锗棒或锭的净杂质浓度检测方法 | |
| 引用本文： | 赵青松,牛晓东,黄幸慰,朱刘.超高纯锗棒或锭的净杂质浓度检测方法[J].广州化工,2019,47(11). |
| 作者姓名： | 赵青松 牛晓东 黄幸慰 朱刘 |
| 作者单位： | 广东先导先进材料股份有限公司,广东 清远 511517;清远先导材料有限公司,广东 清远511517;广东先导稀贵金属材料有限公司,广东 清远,511517;广东先导稀材股份有限公司,广东 清远,511517;先导薄膜材料(广东)有限公司,广东 清远,511517 |
| 摘 要： | 介绍了一种检测超高纯锗棒或锭的净杂质浓度的新方法,采用直流两探针法,在77 K恒温下进行检测;两探针检测得到等间距电压降U,通过函数关系式计算得到电阻率ρ,再根据函数关系式|N_A-N_D|=1/(ρ×q×μ),计算得到探针笔间的锗棒或锭的平均净杂质浓度|N_A-N_D|。该方法可以检测锗棒或锭的整体杂质浓度,检测结果相对准确,检测效率高,有利于产业化。 |
| 关 键 词： | 超高纯锗 净杂质浓度 检测方法 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |