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| 微波等离子体化学气相淀积法制备YBaCuO超导薄膜初步研究 | |
| 引用本文： | 陈春华,彭定坤.微波等离子体化学气相淀积法制备YBaCuO超导薄膜初步研究[J].硅酸盐通报,1990,9(2):62-66. |
| 作者姓名： | 陈春华 彭定坤 |
| 作者单位： | 中国科技大学材料科学与工程系 (陈春华，彭定坤，孟广耀，王春林，罗继业)，中国科技大学材料科学与工程系(曹传宝) |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 微波等离子体 淀积法 超导薄膜 |
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