高温除尘碳化硅膜的制备及其抗腐蚀特性

采用喷涂法在碳化硅(SiC)支撑体上覆膜,根据碳化硅材料的氧化特性,设计了有氧烧结和氩气烧结随温度转换的组合烧结制度,并通过优化保温时间降低碳化硅陶瓷膜烧结成本。研究结果表明,新的烧结制度能有效地控制有氧烧结阶段产生的二氧化硅(SiO_2)量,并促进其与烧结助剂氧化锆(ZrO_2)等在气氛烧结阶段的反应,反应生成的锆英石相和添加莫来石相共同形成SiC颗粒连接颈部。制备的碳化硅陶瓷膜平均孔径为3.03μm,气体通量为175 m~3?m~(-2)?h~(-1)?kPa~(-1)。且在100℃的0.25 mol?L~(-1)的H_2SO_4溶液和0.25 mol?L~(-1)的NaOH溶液中腐蚀6 h后,膜层表面形貌无明显变化,具有较强的抗腐蚀性能。