| 单片集成pH 值传感芯片的设计和研究 |
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| 引用本文： | 施朝霞,章旌红.单片集成pH 值传感芯片的设计和研究[J].浙江工业大学学报,2011,39(1):97-100. |
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| 作者姓名： | 施朝霞 章旌红 |
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| 作者单位： | 浙江工业大学信息工程学院, 浙江杭州310023 |
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| 基金项目： | 浙江省教育厅基金资助项目 |
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| 摘 要： | 基于标准0 .6 μm CMOS 工艺设计了单片集成pH 值传感芯片.传感单元MOS 管采用多层
悬浮栅结构, 氮化硅钝化层作为氢离子敏感层.片上信号处理电路恒定传感单元MOS 管的源漏电
压和源漏电流, 控制传感单元输出电压与溶液pH 值呈线性关系.传感芯片采用离子敏传感单元和
参考单元的差分拓扑结构, 减少电路的固定模式噪声.pH 值传感芯片经实测在pH 值1 ～ 13 范围
内的平均灵敏度为35 .8 mV/pH .
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| 关 键 词： | pH 值传感芯片 氮化硅 灵敏度 |
Design and research of monolithic integrated chip for pH sensor |
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| SHI Zhao-xia,ZHANG Jing-hong.Design and research of monolithic integrated chip for pH sensor[J].Journal of Zhejiang University of Technology,2011,39(1):97-100. |
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| Authors: | SHI Zhao-xia ZHANG Jing-hong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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