| 电控可调光衰减器性能及分析 |
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| 引用本文： | 曹钟慧,吴兴坤.电控可调光衰减器性能及分析[J].浙江大学学报(自然科学版 ),2005,39(10):1553-1556. |
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| 作者姓名： | 曹钟慧 吴兴坤 |
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| 作者单位： | 曹钟慧,吴兴坤（浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室,光及电磁波研究中心，浙江 杭州 310027） |
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| 摘 要： | 为了实现数字化电控调节光衰减量，提出一种电磁线圈驱动的微光机电系统(MOEMS)可调光衰减器，该衰减器主 要通过电磁力步进驱动微加工齿轮/齿条机构，带动偏心轮，从而移动挡光片调节光衰减量，实现单模光纤中光传输功率 的数字化电控调节.器件采用非硅基底MOEMS技术制作，并具有断电自锁功能.主要对该器件的损耗，光功率衰减量作了理 论计算，并进行器件性能测试，测得主要技术指标原始插入损耗< 0.3 dB，波长相关损耗< 0.2 dB，衰减范围0～40 dB ，回波损耗> 50 dB.
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| 关 键 词： | 微光机电系统 可调光衰减器 光通信 微位移驱动器 |
| 文章编号： | 1008-973X（2005）10-1553-04 |
| 收稿时间： | 2004-05-19 |
| 修稿时间： | 2004-05-19 |
Design of micro-machining based digital variable optical attenuator |
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| CAO Zhong-hui,WU Xing-kun.Design of micro-machining based digital variable optical attenuator[J].Journal of Zhejiang University(Engineering Science),2005,39(10):1553-1556. |
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| Authors: | CAO Zhong-hui WU Xing-kun |
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| Affiliation: | Center for Optical and Electromagnetic Research, State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation, Zhejiang University, Hangzhou 310027,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MOEMS DVOA optical communication micro-displacement actuator |
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