| 先驱体Fe膜结晶程度对FeS2薄膜组织和性能的影响 |
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| 引用本文： | 陈旭波,刘艳辉,汪洋,孟亮.先驱体Fe膜结晶程度对FeS2薄膜组织和性能的影响[J].浙江大学学报(自然科学版 ),2008,42(3):489-492. |
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| 作者姓名： | 陈旭波 刘艳辉 汪洋 孟亮 |
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| 作者单位： | 1. 浙江大学 材料与化学工程学院,浙江 杭州 310027;2. 浙江理工大学 理学院,浙江 杭州 310018 |
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| 基金项目： | 浙江省自然科学基金
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教育部博士学科点研究基金 |
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| 摘 要： | 利用不同温度基底溅射沉积Fe膜并硫化合成FeS2薄膜的方法,研究了先驱体Fe膜结晶程度对FeS2薄膜组织结构和电学性能的影响.结果表明,较高的基底温度能够产生较大尺寸的Fe膜晶粒.400 ℃硫化反应可使不同结晶程度的Fe转变为晶粒细小的FeS2.随先驱体Fe膜基底温度升高,合成后的FeS2膜体几何连续程度提高,载流子浓度下降及Hall迁移率上升.制备先驱Fe膜基底温度为300～400 ℃时的FeS2薄膜电阻率出现极大值.Fe膜基底温度变化改变了先驱体结晶程度,导致了FeS2薄膜中晶体缺陷行为及相变应力作用程度的变化,进而导致了FeS2薄膜电学性能的变化.
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| 关 键 词： | FeS2 style="font-family: 膜" target="_blank">宋体">膜 先驱体 组织结构 电学性能 |
| 文章编号： | 1008-973X(2008)03-0489-04 |
| 修稿时间： | 2006年9月7日 |
Influences of crystallizing status of precursor Fe films on microstructure and properties of FeS2 films |
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| CHEN Xu-bo,LIU Yan-hui,WANG Yang,MENG Liang.Influences of crystallizing status of precursor Fe films on microstructure and properties of FeS2 films[J].Journal of Zhejiang University(Engineering Science),2008,42(3):489-492. |
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| Authors: | CHEN Xu-bo LIU Yan-hui WANG Yang MENG Liang |
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