溶胶—凝胶法薄膜制备工艺及其应用 |
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引用本文: | 甘国友,郭玉忠.溶胶—凝胶法薄膜制备工艺及其应用[J].昆明理工大学学报(理工版),1997,22(1):142-145. |
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作者姓名: | 甘国友 郭玉忠 |
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作者单位: | 昆明理工大学材料工程系 |
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摘 要: | 简要评述了近年来溶胶-凝胶薄膜制备工艺的最新进展及其应用.与传统的薄膜制备工艺相比,溶胶-凝胶薄膜制备工艺过程温度低、设备简单、易于应用推广,可以在各种形状的基体上制得多元氧化物等优点,溶胶-凝胶薄膜制备工艺已在电子、光学、磁学、化学等各个领域得到广泛应用.
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关 键 词: | 溶胶-凝胶 薄膜 工艺 应用 |
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