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离子喷涂W-Cu电子封装材料的组织与性能
引用本文:王常春,闵光辉,Suk-Bong Kang.离子喷涂W-Cu电子封装材料的组织与性能[J].山东大学学报(工学版),2006,36(5):13-16.
作者姓名:王常春  闵光辉  Suk-Bong Kang
作者单位:1. 山东大学,材料学院新材料研究中心,山东,济南,250061;韩国机械与材料研究院,庆尚南道,昌原,641-010;临沂师范学院,物理系,山东,临沂,276005
2. 山东大学,材料学院新材料研究中心,山东,济南,250061
3. 韩国机械与材料研究院,庆尚南道,昌原,641-010
摘    要:采用等离子喷涂工艺制备了W Cu电子封装材料,并对该电子封装材料的微观组织和热物理性能进行了研究. 结果表明,在内部送粉条件下,复合材料中钨的收得率要高于外部送粉条件下复合材料中钨的收得率;在内部送粉条件下,功率对铜氧化的影响并不明显;而在外部送粉条件下,随着功率的提高,铜的氧化明显增多;由于氧化物和孔隙等的存在,利用大气等离子喷涂工艺制备的复合材料的导热率远远低于根据混合法则计算的理论值. 这为后续实验研究提供了重要的参考依据.

关 键 词:电子封装材料  等离子喷涂  微观组织  导热系数
文章编号:1672-3961(2006)05-0013-04
收稿时间:2006-05-22
修稿时间:2006年5月22日

Microstructure and properties of W-Cu electronic packaging materials by plasma spraying
WANG Chang-chun,MIN Guang-hui,Suk-Bong Kang.Microstructure and properties of W-Cu electronic packaging materials by plasma spraying[J].Journal of Shandong University of Technology,2006,36(5):13-16.
Authors:WANG Chang-chun  MIN Guang-hui  Suk-Bong Kang
Affiliation:1. School of Materials Science and Engineering,Shandong University,Jinan 250061,China;2. Korea Institute of Machinery and Materials, Sangnam dong,Changwon 641 010,Korea;3. Physics Department, Linyi Normal University,Linyi 276005,China
Abstract:W-Cu electronic packaging materials was fabricated by plasma spraying,and its microstructure and properties were studied.The results show that the ingather of tungsten in the composites using internal feedstock injection(IFI) is higher than that of the composites using external feedstock injection(EFI).For the composites using IFI method,the influence of input power on the copper oxidation is not evident,while more and more cuprite(Cu_2O) is detected with the increasing of input power for the composites using EFI method.The thermal conductivity of W-Cu composite is lower than the theoretical value by ROM.It provides important reference data for future experiments.
Keywords:electronic packaging materials  plasma spraying  microstructure  thermal conductivity
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