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单晶硅表面磁控溅射铜栅极
引用本文:熊礼威,崔晓慧,汪建华,翁 俊,龚国华,张 林.单晶硅表面磁控溅射铜栅极[J].武汉工程大学学报,2014(1):52-56.
作者姓名:熊礼威  崔晓慧  汪建华  翁 俊  龚国华  张 林
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