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用于晶体生长监测的变焦显微物镜设计
作者姓名:李晨晓  陈宇  张润泽  李阳  张家铭
作者单位:长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022
基金项目:吉林省发改委产业创新专项资金项目
摘    要:

关 键 词:晶体生长  超长工作距离  变焦显微镜  Zemax
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