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| 双光束尺寸检测仪的光电信号处理及其测量误差分析 | |
| 引用本文： | 李焕平.双光束尺寸检测仪的光电信号处理及其测量误差分析[J].长春理工大学学报,1990(4). |
| 作者姓名： | 李焕平 |
| 作者单位： | 长春光学精密机械学院精密机械工程系 |
| 摘 要： | 本文从双光束红外动态尺寸检测仪的原理出发,介绍了该尺寸检测仪的光电信号处理过程,分析了信号处理过程中影响尺寸检测精度的最主要因素,同时提出了减小有关误差,提高测量精度的方案,最后给出了原理样机的试验数据并进行了分析,为产品设计提供了参考。 |
| 关 键 词： | 信号检测 误差分析 信号处理系统 |
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