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容栅传感器及其发展前景
引用本文:王习文,齐欣,宋玉泉.容栅传感器及其发展前景[J].吉林大学学报(工学版),2003,33(2):89-94.
作者姓名:王习文  齐欣  宋玉泉
作者单位:吉林大学,超塑性与塑性研究所,吉林,长春,130025
基金项目:吉林省科技发展计划资助项目(吉科合字第20000151号)。
摘    要:容栅传感器是在变面积型电容传感器的基础上发展成的,是在光栅、磁栅、同步感应器之后出现的一种新型大位移传感器。本文介绍了容栅传感器的基本原理及存在的问题,综述了容栅传感器的研究历史、现状及应用前景。

关 键 词:容栅传感器  曲面测量  数显卡尺
文章编号:1671-5497(2003)02-0089-06
修稿时间:2002年12月18

Capacitive transducer and its development prospect
Abstract:Capacitive transducer was developed on the basis of capacitance sensor,which depends on changeable area to measure parameters.It is a new type of long displacement transducer after grating,magnetic grid and synchronization inductor.This paper introduced basic principle of capacitive transducer and its shortcomings,put forward the research history,status and development prospect.
Keywords:capacitive transducer  curve surface measurement  digital callipers
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