|
|||||
|
|
| 用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统 | |
| 引用本文： | 徐祖华,王彦,雷运喜,朱慧玲.用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统[J].南华大学学报(理工版),2003,17(3):59-61. |
| 作者姓名： | 徐祖华 王彦 雷运喜 朱慧玲 |
| 摘 要： | 设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统，采用三菱PLC和EasyView触摸屏，具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能，文中介绍了PLC控制系统硬件与软件结构，以及对靶单元实现闭环控制，获得稳定靶电流情况。 |
| 关 键 词： | PLC 磁溅式三靶真空镀膜机 控制系统 系统结构 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |