| 碱催化制备溶胶-凝胶ZrO2薄膜及性能研究 |
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| 引用本文： | 李海元,唐永兴,胡丽丽.碱催化制备溶胶-凝胶ZrO2薄膜及性能研究[J].武汉理工大学学报,2007,29(Z1):93-96. |
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| 作者姓名： | 李海元 唐永兴 胡丽丽 |
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| 作者单位： | 中科院上海光学精密机械研究所高功率激光物理国家实验室,上海,201800 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 以Zr(OC3H7)4为前驱体,二甘醇为络合剂,在氨水的碱性条件下,水解制备ZrO2溶胶,并加入聚乙烯吡喏烷酮(PVP)来提高膜层的激光损伤阈值,提拉法涂膜.采用粘度、粒度分布、IR、DSC、XRD、AFM等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征.结果表明,ZrO2溶胶具有较好的粘度稳定性;薄膜表面均匀平整;ZrO2-PVP溶胶颗粒粒径分布比ZrO2溶胶的集中;ZrO2凝胶粉在329℃附近由非晶态转变为四方晶相结构,在600℃时已有单斜晶相结构出现,随温度的升高由四方晶相向单斜晶相结构转变;加入PVP能有效提高膜层的激光损伤阈值,ZrO2膜的激光损伤阈值为10.2 J/cm2(1064nm,1 ns),ZrO2-PVP膜的激光损伤阈值为14.17 J/cm2(1064nm,1ns).
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 薄膜 聚乙烯吡喏烷酮 |
| 文章编号： | 1671-4431(2007)专辑Ⅰ-0093-04 |
| 修稿时间： | 2007年3月29日 |
Preparation and Characterization of ZrO2 Thin Film by Sol-Gel Method |
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| LI Hai-yuan,TANG Yong-xing,HU Li-li.Preparation and Characterization of ZrO2 Thin Film by Sol-Gel Method[J].Journal of Wuhan University of Technology,2007,29(Z1):93-96. |
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| Authors: | LI Hai-yuan TANG Yong-xing HU Li-li |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZrO2 Zr(OC3H7)4 |
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