| 掺氮对纳米金刚石薄膜形貌及组成结构的影响 |
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| 引用本文： | 王玉乾,王兵,甘孔银,梅军,孙文周,袁庆,燕丽娜,郭娟.掺氮对纳米金刚石薄膜形貌及组成结构的影响[J].武汉理工大学学报,2008,30(8). |
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| 作者姓名： | 王玉乾 王兵 甘孔银 梅军 孙文周 袁庆 燕丽娜 郭娟 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，中国工程物理研究院基金 |
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| 摘 要： | 采用微波等离子体化学气相沉积技术,通过在甲烷和氢气的混合反应气源中通入不同浓度的氮气,合成了氮掺杂的纳米金刚石薄膜.表征结果表明随着氮气浓度的增加,所得到的金刚石薄膜的材料特征发生了明显的改变:膜层晶粒结构由从未见过的大尺寸片状向团簇状再向微颗粒状转变,并且薄膜的表面粗糙度相应变小;同时薄膜中非金刚石组份逐渐增多,膜材的物相纯度下降.氮气浓度除决定了纳米金刚石薄膜中N的掺杂度外,还会对膜材的物相组成、形貌及结构产生巨大的影响.
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| 关 键 词： | 纳米金刚石薄膜 微波等离子体 化学气相沉积 |
Effect of N-doped on Surface Morphology, Microstructure and Constitutes of Nano Diamond Thin Films |
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| WANG Yu-qian,WANG Bing,GAN Kong-yin,MEI Jun,SUN Wen-zhou,YUAN Qing,YAN Li-na,GUO Juan.Effect of N-doped on Surface Morphology, Microstructure and Constitutes of Nano Diamond Thin Films[J].Journal of Wuhan University of Technology,2008,30(8). |
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| Authors: | WANG Yu-qian WANG Bing GAN Kong-yin MEI Jun SUN Wen-zhou YUAN Qing YAN Li-na GUO Juan |
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