| La掺杂BaTi_2O_5薄膜的制备及性能 |
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| 引用本文： | 肖华,戴英,杨莹,黄玲,裴新美.La掺杂BaTi_2O_5薄膜的制备及性能[J].武汉理工大学学报,2015(1):1-5. |
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| 作者姓名： | 肖华 戴英 杨莹 黄玲 裴新美 |
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| 作者单位： | 武汉理工大学材料科学与工程学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51172170) |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了不同摩尔分数La掺杂BaTi2O5薄膜。研究了不同La掺量的BaTi2O5(Ba1-xLaxTi2O5)薄膜的物相组成、介电性能和铁电性能。XRD分析结果表明,采用溶胶-凝胶法经过850℃退火制备的Ba1-xLaxTi2O5(0≤x≤0.01)薄膜样品结晶较好,无杂相出现。La掺杂提高了薄膜的介电性能和铁电性能,当掺杂量0.004≤x≤0.008,测试频率为1MHz时,薄膜的介电常数约为630;当x=0.004时,掺La的BaTi2O5薄膜的剩余极化值最大,2Pr=2.1μC/cm2。
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| 关 键 词： | BaTi2O5薄膜 La掺杂 溶胶-凝胶法 性能 |
The Preparation and Electrical Properties of La-doped BaTi_2O_5 Thin Films |
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| XIAO Hua;DAI Ying;YANG Ying;HUANG Ling;PEI Xin-mei.The Preparation and Electrical Properties of La-doped BaTi_2O_5 Thin Films[J].Journal of Wuhan University of Technology,2015(1):1-5. |
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| Authors: | XIAO Hua;DAI Ying;YANG Ying;HUANG Ling;PEI Xin-mei |
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| Affiliation: | XIAO Hua;DAI Ying;YANG Ying;HUANG Ling;PEI Xin-mei;School of Materials Science and Engineering,Wuhan University of Technology; |
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