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退火温度对AZTO薄膜晶体管电学特性的影响
作者姓名:左欢欢  王超  杨帆
作者单位:吉林建筑大学电气与计算机学院,长春130118;吉林建筑大学电气与计算机学院,长春130118;吉林建筑大学电气与计算机学院,长春130118
基金项目:吉林省科技发展计划;吉林省科技厅中央引导地方科技发展研究项目
摘    要:

关 键 词:铝锌锡氧化物(AZTO)  薄膜晶体管(TFT)  退火温度
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