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Novel serpentine structure design method considering confidence level and estimation precision
Authors:Li-sheng CHEN  Xiao-hua LUO  Jiao-jiao ZHU  Fan-chao JIE  Xiao-lang YAN
Affiliation:Institute of VLSI Design, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China
Abstract:
Keywords:Poisson yield model  Serpentine test structure  Critical area  Average defect density  Confidence level  Estimation precision
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