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| 一种电容式闭环微加速度计系统研究 | |
| 引用本文： | 刘晓为,郭玉刚,陈伟平,陈晓亮.一种电容式闭环微加速度计系统研究[J].中北大学学报,2011(4):502-506. |
| 作者姓名： | 刘晓为 郭玉刚 陈伟平 陈晓亮 |
| 摘 要： | 基于SOG(Silicon on Glass)工艺设计了一种新型电容式加速度传感器结构,分析了该结构的检测和反馈原理.为了提高闭环微加速度传感器的性能,更好地实现闭环控制调节作用,对传感器系统进行了研究.在反馈系统中引入PID控制器,并建立了SIMLINK系统模型,分析了系统闭环传递函数以及控制参数对传感器系统的影响.... |
| 关 键 词： | MEMS 加速度计 闭环系统 PID控制器 |