| 溶胶-凝胶法制备PZT薄膜及其物性特性分析 |
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| 引用本文： | 唐立军,梁庭. 溶胶-凝胶法制备PZT薄膜及其物性特性分析[J]. 中北大学学报(自然科学版), 2012, 0(5): 595-597 |
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| 作者姓名： | 唐立军 梁庭 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家863重大资助项目(2006AA040601) |
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| 摘 要： | 以三水合乙酸铅、四正丁氧基锆和钛酸四丁酯为原料,并以乙酰丙酮为熬合剂,乙二醇甲醚为溶剂制备PZT溶胶;在Si-Pt基板上采用溶胶-凝胶法制备热释电薄膜.采用KW-4A型匀胶机,甩胶速度为4 500r/m,甩胶30s,在马弗炉中烧结温度为400℃,退火温度分别为600℃,650℃,700℃.使用AFM观察表面形貌,在拉曼光谱仪下观测拉曼峰.试验结果表明:在600℃,650℃,700℃退火时均形成拉曼峰,650℃退火时局部区域内薄膜材料的表面光滑而致密,700℃形成了三方、四方共存的钙钛矿相结构.
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| 关 键 词： | 锆钛酸铅薄膜 热释电 Raman 溶胶凝胶 |
Properties of PZT Thin Films Fabricated by Sol-Gel Processing |
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| TANG Li-jun,LIANG Ting. Properties of PZT Thin Films Fabricated by Sol-Gel Processing[J]. Journal of North University of China, 2012, 0(5): 595-597 |
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| Authors: | TANG Li-jun LIANG Ting |
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| Affiliation: | (National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology,North University of China,Taiyuan 030051,China) |
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