| 数字伺服聚焦非接触位移传感器的研究 |
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| 引用本文： | 邹华东,谢铁邦.数字伺服聚焦非接触位移传感器的研究[J].湖北工业大学学报,2005,20(5):128-131. |
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| 作者姓名： | 邹华东 谢铁邦 |
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| 作者单位： | 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 研究了一种以整体线切割设计的音圈电机为驱动的聚焦式位移传感器,它具有很好的静动态特性.音圈电机采用两次精确找焦的方法得到焦点的位置,利用数字伺服控制方法,对于不同的材料表面及有一定角度的表面检测失焦时进行特殊处理,使得该传感器能够精确快速找到焦点.
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| 关 键 词： | 传感器 表面形貌 数字伺服 自动聚焦 |
| 文章编号： | 1003-4684（2005）10-0128-04 |
| 收稿时间： | 2005-05-10 |
| 修稿时间： | 2005年5月10日 |
Research on Non contact Sensor with Digital Sevocontrol for Displacement Measurement |
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| ZOU Hua-dong,XIE Tie-bang.Research on Non contact Sensor with Digital Sevocontrol for Displacement Measurement[J].Journal of Hubei University of Technology,2005,20(5):128-131. |
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| Authors: | ZOU Hua-dong XIE Tie-bang |
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| Abstract: | This paper presents a non contact sensor with digital servocontrol for displacement measurement. It shows good static and dynamic characteristics after the use of the whole line cutting technology. The voice motor uses the twice focus way to get the precise focus position. The sensor is capable of getting the focal position quickly and precisely with the digital servo control method and special process on different material surface and the surface that has slope. |
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| Keywords: | sensor surface profile digital servocontrol auto focus |
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