| 化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构性能的影响 |
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| 引用本文： | 杜辉,李洋,梁伟正,高敏,张胤,林媛.化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构性能的影响[J].电子科技大学学报（自然科学版）,2015,44(5):784-788. |
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| 作者姓名： | 杜辉 李洋 梁伟正 高敏 张胤 林媛 |
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| 摘 要： | 该文采用化学溶液沉积法——高分子辅助沉积(PAD)法在多晶镍基片上成功制备了钛酸钡(BaTiO3)薄膜,并研究了前驱体溶液化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构漏电特性和介电性能的影响。实验表明,钛过量的薄膜样品可能出现二氧化钛相,适宜浓度的钛过量可以降低BaTiO3/Ni集成结构1个数量级的漏电流密度,减少介电损耗约50%,并能有效提高集成结构的介电常数。对BaTiO3薄膜的漏电流导电机制进行了分析,并对钛过量影响集成结构的漏电特性和介电性能的原因进行了讨论。
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| 关 键 词： | 介电性能 钛酸钡 薄膜材料 漏电流 |
Influence of Stoichiometric Ratio on the Properties of BaTiO3 Thin Films Grown on Nickel Substrates |
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