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光纤微机电压力传感器的设计
引用本文:李明,王鸣,王婷婷,聂守平.光纤微机电压力传感器的设计[J].南京师范大学学报,2004,4(4):20-24.
作者姓名:李明  王鸣  王婷婷  聂守平
作者单位:南京师范大学物理科学与技术学院 江苏南京210097 (李明,王鸣,王婷婷),南京师范大学物理科学与技术学院 江苏南京210097(聂守平)
基金项目:江苏省高新技术基金资助项目 (BG2 0 0 3 0 2 4),南京师范大学学生基金资助项目 (2 0 0 4XK0 13 ) .
摘    要:设计了一种基于微机电系统(MEMS)的光纤压力传感器,证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里-珀罗腔的理论模型进行解释.推导出光纤MEMS压力传感器中硅横膈膜受到的压力与于涉光强的关系表达式.并且对光纤MEMS压力传感器的模型进行数值模拟,得到了传感器制作过程中涉及到的各个物理量的取值,其中腔体半径为300μm、腔体深度为2.42μm、硅横膈膜厚度为23μm,该设计为光纤MEMS压力传感器的加工和制作提供了理论基础。

关 键 词:集成光路  光纤MEMS压力传感器  数值模拟  干涉光强
文章编号:1672-1292-(2004)04-0020-05
修稿时间:2004年6月5日

The Design of Optical MEMS Pressure Sensor
LI Ming,WANG Ming,WANG Tingting,NIE Shouping.The Design of Optical MEMS Pressure Sensor[J].Journal of Nanjing Nor Univ: Eng and Technol,2004,4(4):20-24.
Authors:LI Ming  WANG Ming  WANG Tingting  NIE Shouping
Abstract:
Keywords:MEMS  pressure sensor  numerical simulation  interference light intensity
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
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