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| 微纳米超硬TiAlSiN涂层的研究与应用进展 | |
| 引用本文： | 张而耕,黄彪,陈强,周琼,李朝明,潘文高,林荣川,陈刚.微纳米超硬TiAlSiN涂层的研究与应用进展[J].应用技术学报,2020,20(2). |
| 作者姓名： | 张而耕 黄彪 陈强 周琼 李朝明 潘文高 林荣川 陈刚 |
| 作者单位： | 上海应用技术大学 上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心 ,上海 201418;上海离原环境科技有限公司 ,上海 200241;集美大学 机械与能源工程学院 ,福建 厦门 361021;中国兵器科学研究院宁波分院 ,浙江 宁波 315103 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;上海市重点支撑计划;厦门市重大科技项目;国家科技重大专项;上海市联盟计划 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | TiAlSiN涂层 超硬 微纳米 物理气相沉积 |
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