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| 用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统 | |
| 引用本文： | 徐祖华,黄智伟,朱慧玲.用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统[J].电气自动化,2004,26(2):49-51. |
| 作者姓名： | 徐祖华 黄智伟 朱慧玲 |
| 作者单位： | 南华大学电气工程学院,衡阳,421001;南华大学电气工程学院,衡阳,421001;南华大学电气工程学院,衡阳,421001 |
| 摘 要： | 设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统，采用三菱PLC和Easy View触摸屏，具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能。文中介绍了PLC控制系统软硬件结构，及抗干扰措施。 |
| 关 键 词： | 镀膜机 PLC 硬件结构 软件结构 |
The Control System on a Magnetic Scattering Vaccum Three-target Film Plating Machine Realized by PLC |
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| Abstract: | |
| Keywords: | PLC |
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