| 高Q值超低功耗谐振式磁传感器的设计与实现 |
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| 引用本文： | 黄子军,卞雷祥,李 辉,彭伟民,张 闯,文玉梅,李 平.高Q值超低功耗谐振式磁传感器的设计与实现[J].电子测量与仪器学报,2021,35(5):1-7. |
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| 作者姓名： | 黄子军 卞雷祥 李 辉 彭伟民 张 闯 文玉梅 李 平 |
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| 作者单位： | 南京理工大学 机械工程学院 南京 210094;上海交通大学 电子信息与电气工程学院 上海 200240 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大科研仪器研制专项（61527813）资助 |
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| 摘 要： | 针对现有谐振式磁传感器原理不能同时实现高品质因数(Q)和低功耗的缺点,利用双端固定石英音叉谐振器与铁镓磁致伸缩合金片复合,设计了一种隔离磁机阻尼的高Q值、数字频率输出的超低功耗谐振式磁传感器。利用音叉谐振器结构的解耦特性,设计应力耦合传递结构,隔离了磁致伸缩材料磁机阻尼,从而保证复合传感器Q值与音叉谐振器Q值相当。在磁场作用下,磁致伸缩力传递到音叉谐振器,由于音叉力敏感特性,实现磁-力-频率转换。制备了铁镓合金/石英音叉谐振器复合敏感结构,测试表明,在低气压封装条件下的品质因数约为16 764,门振荡电路功耗约为124.8μW,在线性区灵敏度为3.05 Hz/Oe,分辨率为6 mOe。
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| 关 键 词： | 谐振式磁传感器 石英音叉谐振器 磁致伸缩材料 高品质因数 |
Design and fabrication of a resonant magnetic field sensor with high
quality factor and low power consumption |
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| Huang Zijun,Bian Leixiang,Li Hui,Peng Weimin,Zhang Chuang,Wen Yumei,Li Ping.Design and fabrication of a resonant magnetic field sensor with high
quality factor and low power consumption[J].Journal of Electronic Measurement and Instrument,2021,35(5):1-7. |
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| Authors: | Huang Zijun Bian Leixiang Li Hui Peng Weimin Zhang Chuang Wen Yumei Li Ping |
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| Affiliation: | 1. School of Mechanical Engineering, Nanjing University of Science and Technology;2. School of Electronic Information and Electrical Engineering, Shanghai Jiaotong University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | resonant magnetic sensor double-ended quartz crystal tuning fork(DETF) magnetostrictive material high quality factor |
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