| 旋转式微发电机研究现状及发展趋势 |
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| 引用本文： | 孙韶春,石庚辰.旋转式微发电机研究现状及发展趋势[J].微电机,2010,43(8). |
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| 作者姓名： | 孙韶春 石庚辰 |
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| 作者单位： | 北京理工大学,机电工程与控制国家级重点实验室,北京,100081 |
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| 摘 要： | 基于MEMS技术的微发电机体积小、可长期使用,成为研究的热点。目前微发电机主要分为振动式和旋转式两大类:振动式微发电机结构简单,但能量密度小;旋转式微发电机可在高转速下工作,产生高的能量密度。描述了旋转式微发电机的工作原理与特点。着重介绍了旋转式微发电机的研究现状,列举了典型的研究成果,总结了其所用的结构、材料和加工工艺。指出了旋转式微发电机的发展趋势,即寻求简化装配、适合大批量生产的材料与工艺。旋转式微发电机的出现,使"小机器产生大功率"的设想成为可能。
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| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) 旋转式发电机 结构 材料 工艺 |
Research Situation and Prospect of Micro-rotational Generator |
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| SUN Shao-chun,SHI Geng-chen.Research Situation and Prospect of Micro-rotational Generator[J].Micromotors,2010,43(8). |
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| Authors: | SUN Shao-chun SHI Geng-chen |
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