| 压电超声微电机的研究现状与应用前景 |
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| 引用本文： | 栗大超,靳世久,曾周末,赵伯雷.压电超声微电机的研究现状与应用前景[J].微电机,2001,34(3):31-34. |
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| 作者姓名： | 栗大超 靳世久 曾周末 赵伯雷 |
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| 作者单位： | [1]天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室，天津300072 [2]天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室，天津30 |
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| 基金项目： | 教育部博士点基金资助课题(1999005607) |
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| 摘 要： | 从类型、原理和结构等角度重点讨论了当前压电超声直线微电机的研究现状和发展方向，以此展开，论述了目前压电超声微电机研究领域尚需深入探索的关键技术，结合国外的应用现状分析了压电超声微电机的应用前景。；
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| 关 键 词： | 压电超声微电机 MEMS 直梁结构 压电材料 |
| 文章编号： | 1001-6848(2001)03-0031-04 |
| 修稿时间： | 2001年5月17日 |
Research Status and Application Future of Piezoelectric Ultrasonic Micro Motor |
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| LI Da-chao,JIN Shi-jiu,ZENG Zhou-mo,ZHAO Bo-lei.Research Status and Application Future of Piezoelectric Ultrasonic Micro Motor[J].Micromotors,2001,34(3):31-34. |
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| Authors: | LI Da-chao JIN Shi-jiu ZENG Zhou-mo ZHAO Bo-lei |
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| Abstract: | According to the type and principle and structure, this article discusses the research status and the development direction now of piezoelectric ultrasonic line micro motor. On this base, some key technology and application future of piezoelectric ultrasonic micro motor are analyzed by this paper. |
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| Keywords: | piezoelectric ultrasonic micro motor MEMS research status development direction key technology application future |
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