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静电马达发展综述
引用本文:李翠萍,柴凤,于艳君,程树康. 静电马达发展综述[J]. 微电机, 2009, 42(5)
作者姓名:李翠萍  柴凤  于艳君  程树康
作者单位:哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001
摘    要:分析了静电马达的工作原理及静电力在微领域中的优势;综述了静电马达的发展历程及国内外研究现状,并对其应用前景进行了评析和展望.

关 键 词:微马达  静电  可变电容  综述

Review on Development of Electrostatic Motor
LI Cui-ping,CHAI Feng,YU Yan-jun,CHENG Shu-kang. Review on Development of Electrostatic Motor[J]. Micromotors, 2009, 42(5)
Authors:LI Cui-ping  CHAI Feng  YU Yan-jun  CHENG Shu-kang
Abstract:
Keywords:
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