| 用于等离子体离子辐照的新型阶梯型脉冲高压电路研制 |
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| 引用本文： | 石经纬,田修波,巩春志,杨士勤.用于等离子体离子辐照的新型阶梯型脉冲高压电路研制[J].高电压技术,2011,37(4):969-974. |
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| 作者姓名： | 石经纬 田修波 巩春志 杨士勤 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 为满足等离子体离子辐照和复合表面改性处理技术的发展,提出了基于Marx发生器,通过调节驱动信号延时,实现放电IGBT开关不同时导通,从而获得阶梯型脉冲高压输出的电路设计思想,并验证了其可行性.试验结果显示,该电路可输出脉冲峰值电压10 kV,峰值电流30 A,脉冲宽度3～30μs,脉冲频率20～500 Hz,最大电压阶...
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| 关 键 词： | 离子辐照 Marx发生器 IGBT 阶梯型脉冲 驱动信号延时 等离子体负载 |
Novel Circuit Producing Pulsed High Voltage with Discrete Steps for Ion Bombardment in Plasma Immersion |
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| SHI Jing-wei
,
TIAN Xiu-bo
,
GONG Chun-zhi
,
YANG Shi-qin.Novel Circuit Producing Pulsed High Voltage with Discrete Steps for Ion Bombardment in Plasma Immersion[J].High Voltage Engineering,2011,37(4):969-974. |
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| Authors: | SHI Jing-wei TIAN Xiu-bo GONG Chun-zhi YANG Shi-qin |
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