| PLD法制备Cu膜生长的计算机模拟与实验 |
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| 引用本文： | 崔海涛,王永仓,段章山.PLD法制备Cu膜生长的计算机模拟与实验[J].微计算机信息,2007,23(31):197-198,289. |
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| 作者姓名： | 崔海涛 王永仓 段章山 |
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| 作者单位： | 空军工程大学理学院,陕西西安,710051 |
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| 摘 要： | 介绍了脉冲激光薄膜沉积技（PLD）的原理，建立了PLD成膜过程初期生长的物理模型，并运用动力学蒙特卡罗方法对基于硅衬底的铜膜PLD生长进行了计算机模拟，得到生长形态图及剖面图，在相同的参数下做PLD实验，将所得原子力测试图与模拟进行了比较，结果相近。
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| 关 键 词： | 脉冲激光薄膜沉积 计算机模拟 动力学蒙特卡罗方法 薄膜生长 |
| 文章编号： | 1008-0570（2007）11-1-0197-02 |
| 修稿时间： | 2007-08-132007-10-15 |
Simulation and experiment of the growing thin film produced by the pulsed laser deposition technique |
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| CUI HAITAO,WANG YONGCANG,DUAN ZHANGSHAN.Simulation and experiment of the growing thin film produced by the pulsed laser deposition technique[J].Control & Automation,2007,23(31):197-198,289. |
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| Authors: | CUI HAITAO WANG YONGCANG DUAN ZHANGSHAN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Pulsed Laser Deposition Kinetic Monte Carlo growth of thin films |
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