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| 采用固态传感器技术的硅谐振变送器 | |
| 引用本文： | 卞正岗.采用固态传感器技术的硅谐振变送器[J].自动化博览,1997(3):13-14. |
| 作者姓名： | 卞正岗 |
| 摘 要： | 在过程控制领域里，在各类控制系统配套的检测仪表中，流量、压力、液位的检测，主要是采用差压、压力变送器（目前虽然各种流量仪表在发展，但孔板等节流装置加差压变送器的检测仪表在实际应用中仍占三分之一以上人随着技术的进步，差压。压力变送器也在不断更新换代，其工作原理也由位移式、力平衡式、扩散硅电阻应变式、电容式而发展成现在采用固态传感器技术和微细加工技术的各种固态化的智能式变送器。本文将结合日本横河公司的硅谐振式的EJA系列变送器进行阐述。固态传感器技术又称物性型传感器技术，它与原来的结构型传感器技术有… |
| 关 键 词： | 固态传感器 物性型 硅谐振变送器 传感器 |
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