| 基于FEMAG-CZ热场仿真软件的单晶炉热场分析 |
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| 引用本文： | 王庆,张婷曼.基于FEMAG-CZ热场仿真软件的单晶炉热场分析[J].计算机光盘软件与应用,2011(17). |
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| 作者姓名： | 王庆 张婷曼 |
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| 作者单位： | 1. 西安理工晶体科技有限公司,西安,710077
2. 延安大学西安创新学院,西安,710100 |
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| 摘 要： | 基于FEMAGSoft公司的EMAG-CZ热场仿真软件具有模拟提拉法生长单晶体的热场仿真功能，提出使用温度梯度分析热场，通过仿真证明热场设计合理，满足生长单晶棒的要求。
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| 关 键 词： | EMAG-CZ热场仿真软件 温度梯度 仿真 |
Single Crystal Furnace Thermal Field Analysis on FEMAG-CZ Thermal Field Simulation Software |
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| Abstract: | FEMAGSoft company EMAG-CZ thermal field simulation software with a single crystal Czochralski method simulation of thermal field simulation,made using the temperature gradient thermal field,thermal field through the simulation shows designed to meet the growth requirements of single-crystal rods. |
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| Keywords: | EMAG-CZ thermal field simulation software Temperature gradient Simulation |
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