| 一种新型压阻式硅微仿生矢量水听器的设计 |
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| 引用本文： | 乔 慧,刘 俊,张斌珍,张文栋,熊继军,薛晨阳.一种新型压阻式硅微仿生矢量水听器的设计[J].传感技术学报,2009,22(2). |
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| 作者姓名： | 乔 慧 刘 俊 张斌珍 张文栋 熊继军 薛晨阳 |
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| 作者单位： | 1.中北大学电子测试技术国家重点实验室,2.加州伯克利大学机械工程系 |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型的基于压阻效应的硅微仿生矢量水听器，详细叙述了该矢量水听器的结构设计方法，利用有限元软件ANSYS对矢量水听器结构进行了模态分析，采用振动台标定与低频校准装置测试相结合的方法对水听器进行测试，并给出了检测单元的加速度频响特性曲线和声压灵敏度曲线，以及矢量水听器在水下测试的接收灵敏度曲线和指向性图的测试结果。通过此实验方法，不仅验证了该矢量水听器设计的合理性，而且验证了它适用于低频检测，应用于水声探测具有一定的可行性。实验证明，该矢量水听器的接收灵敏度在500Hz时达到-189.6dB(0dB=1V/μPa)，并具有良好的“8”字形的指向性。
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| 关 键 词： | 矢量水听器 压阻式 接收灵敏度 指向性 |
Design of a Novel Si-based Bionic Vector Hydrophone
Based on Piezoresistive effect* |
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| QIAO Hui,LIU Jun,ZHANG Bin-zhen,ZHANG Wen-dong,XIONG Ji-jun,XUE Chen-yang.Design of a Novel Si-based Bionic Vector Hydrophone
Based on Piezoresistive effect*[J].Journal of Transduction Technology,2009,22(2). |
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| Authors: | QIAO Hui LIU Jun ZHANG Bin-zhen ZHANG Wen-dong XIONG Ji-jun XUE Chen-yang |
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| Affiliation: | 1.National Key Laboratory For Electronic Measurement Technology, North University of China,2.Department of Mechanical Engineering university of California , Berkeley. Berkeley |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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