| 基于?:CH薄膜的微齿轮的制备 |
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| 引用本文： | 张继成,吴卫东,唐永建.基于?:CH薄膜的微齿轮的制备[J].传感技术学报,2006,19(5):1398-1400. |
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| 作者姓名： | 张继成 吴卫东 唐永建 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900 |
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| 基金项目： | 中国工程物理研究院基金 |
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| 摘 要： | 采用低压等离子体化学气相沉积技术在硅片上制备出α∶CH薄膜,以金属铝作为掩膜,利用电子回旋共振微波等离子体反应离子刻蚀法制备微齿轮,再用化学腐蚀的办法将所制备的齿轮从硅片上剥离下来,最后清洗干净后用毛细管把微齿轮组装到一个固定的转轴上.扫描电子显微镜(SEM)测量表明,所得的微齿轮直径270μm左右,厚度12 μm左右,表面平整,侧壁陡直.
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| 关 键 词： | 微齿轮 反应离子刻蚀(RIE) α∶CH薄膜 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1398-03 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
Micro-gear Fabrication Using Amorphous Carbon Films |
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| ZHANG Ji-cheng,WU Wei-dong,TANG Yong-jian.Micro-gear Fabrication Using Amorphous Carbon Films[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):1398-1400. |
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| Authors: | ZHANG Ji-cheng WU Wei-dong TANG Yong-jian |
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| Affiliation: | Research Center of Laser Fusion, CAEP, P.O.Box 919-987, Mianyang 621900, China |
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| Abstract: | Amorphous carbon films deposited on silicon substrate using low pressure plasma chemical vapor deposition(LPP-CVD) techniques. Micro-gear made of amorphous carbon films fabricated on silicon substrate vie the technique of oxygen-reactive ion etching(RIE) under an Al mask. Micro-gear was released from the substrate using HNA solutions and assembled on the axis by handwork. The result of Scanning Electron Microscopy(SEM) measurement show that the micro-gear with smooth surface and vertical sidewall ,the thickness and diameter of the micro-gear is 270um and 12um. |
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| Keywords: | micro-gear amorphous carbon film reactive ion etching |
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