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P+N+器件压磁电效应的研究
引用本文:
温殿忠,邱成军,庄玉光.P+N+器件压磁电效应的研究[J].传感技术学报,1996,9(2):10-15.
作者姓名:
温殿忠
邱成军
庄玉光
作者单位:
黑龙江大学信息电子科学系!哈尔滨150080
摘 要:
用载流子连续方程研究了一个侧面设置坑复合区的双注入P^+πN^+器件的压磁电效应,给出了伏安特性与压力和磁场强度的函数关系,结果表明,当四个P^+πN^+器件在“基区”两两垂直组成惠斯登电桥,制造在C型硅杯的硅膜片上,不但具有较高的压力灵敏度和磁灵敏度,而且可以用来测量磁场的旋转角度。
关 键 词:
P^+πN^+器件
压磁电效应
敏感器件
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