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自确认压力传感器结构设计
引用本文:冯志刚,王祁,信太克规.自确认压力传感器结构设计[J].传感技术学报,2006,19(3):662-666.
作者姓名:冯志刚  王祁  信太克规
作者单位:哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,哈尔滨,150001
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划)
摘    要:自确认传感器能够实现传感器故障的自诊断和自恢复,除了提供被测量的确认的测量值之外,还提供测量值的不确定度、测量值的状态等表征传感器输出可信度的参数,可以实时了解传感器的工作状态,及时采取相应的措施,大大提高监测系统的可靠性.本文针对自确认圆平膜片应变式压力传感器的设计,分析了圆平膜片的应力和应变分布,建立了圆平膜片上两种传统布片方式的数学模型,在分析圆平膜片压力传感器故障模式的基础上,对传统的布片方式进行了改进,建立了在圆平膜片上进行多组布片的方案,为实现自确认圆平膜片应变式压力传感器提供了坚实的基础.

关 键 词:自确认传感器  圆平膜片  应力分布  布片方式  故障模式
文章编号:1004-1699(2006)03-0662-05
收稿时间:2005-09-14
修稿时间:2005年9月14日

Structure Design of Self-validating Pressure Sensor
Feng Zhigang,Wang Qi,Katsunori SHIDA.Structure Design of Self-validating Pressure Sensor[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(3):662-666.
Authors:Feng Zhigang  Wang Qi  Katsunori SHIDA
Affiliation:Department of Automation Measurement and Control Engineering, Haerbin Institute of Technology, Harbin 150001 ,China
Abstract:
Keywords:self-validating sensor  circular-flat diaphragm  stress distribution  displacement of straingauge  fault mode
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