| 高性能微机械陀螺接口电路研究 |
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| 引用本文： | 王慧泉,郁发新,金仲和,陈懿,郑旭东,陈永,焦继伟,王跃林.高性能微机械陀螺接口电路研究[J].传感技术学报,2006,19(4):1136-1139. |
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| 作者姓名： | 王慧泉 郁发新 金仲和 陈懿 郑旭东 陈永 焦继伟 王跃林 |
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| 作者单位： | 1. 浙江大学信电系半导体光电子研究所,杭州,310027
2. 上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
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| 摘 要： | 微机械陀螺输出信号非常微弱,从系统角度对其接口电路进行研究,采用闭环驱动,通过改善驱动信号稳定性及陀螺输出端接口电路,系统性能得到较大提高,改善后系统灵敏度9.8 mV/(o)·s-1,非线性度0.43%,分辨率达180°/h.
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| 关 键 词： | 微机械陀螺 闭环驱动 自动增益控制 差分电容 |
| 文章编号： | 1004-1699（2006）04-1136-04 |
| 收稿时间： | 2005-10-12 |
| 修稿时间： | 2005年10月12日 |
High performance interface circuit for MEMS gyroscope |
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| Wang Huiquan Jin Zhonghe Chen Yi Zheng Xudong Chen Yong Jiao Jiwei,Wang Yuelin.High performance interface circuit for MEMS gyroscope[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(4):1136-1139. |
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| Authors: | Wang Huiquan Jin Zhonghe Chen Yi Zheng Xudong Chen Yong Jiao Jiwei Wang Yuelin |
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| Affiliation: | 1. Dept. Information and Electronic Eng., Zhejiang University,310027
2. Shanghai Institute of Micro-system and Information Technology, Shanghai 200050 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS gyroscope close-loop driven automatic gain control differential capacitor detected |
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