| 旋转摆动式硅微机械陀螺敏感头的研制 |
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| 引用本文： | 王宏伟,腾功清,齐臣杰,江世宇.旋转摆动式硅微机械陀螺敏感头的研制[J].传感技术学报,2007,20(11):2386-2390. |
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| 作者姓名： | 王宏伟 腾功清 齐臣杰 江世宇 |
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| 作者单位： | 北京信息科技大学理学院,北京,100085 |
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| 基金项目： | 北京市教委科技发展计划 |
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| 摘 要： | 介绍旋转摆动式硅微机械陀螺电容敏感的原理,给出了陀螺振动单元的结构尺寸,计算了被测角速度和敏感电容的关系,进而得到被测角速度和输出电压的关系.利用微机械加工方法加工得到了硅振动单元,加工硅振动单元的工艺特点是双面多次光刻、腐蚀.介绍了制作旋转摆动式硅微机械陀螺敏感元件的工艺并对制作的敏感元件进行测试,测试结果表明“三明治“敏感元件四个敏感电容较计算得到的电容偏小.
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| 关 键 词： | 陀螺 微机械 摆动 敏感元件 |
| 文章编号： | 1004-1699(2007)11-2386-05 |
| 修稿时间： | 2007年5月17日 |
The Sense Organ's Research of Silicon Micro-Machined Swing Gyroscope for Circumrotation |
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| WANG Hong-wei,TENG Gong-qing,QI Chen-jie,JIANG Shi-yu.The Sense Organ''''s Research of Silicon Micro-Machined Swing Gyroscope for Circumrotation[J].Journal of Transduction Technology,2007,20(11):2386-2390. |
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| Authors: | WANG Hong-wei TENG Gong-qing QI Chen-jie JIANG Shi-yu |
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| Affiliation: | physics and mathematics institute , Beijing information science and technology university, Beijing 100085, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | gyroscope micro-electronics machined system swing sense organ |
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