| 牺牲层腐蚀改进模型与模拟研究 |
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| 引用本文： | 彭奇,李伟华.牺牲层腐蚀改进模型与模拟研究[J].传感技术学报,2008,21(2):207-210. |
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| 作者姓名： | 彭奇 李伟华 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 牺牲层腐蚀主要受腐蚀液的扩散过程制约,由扩散方程决定.扩散系数在腐蚀过程中随温度和腐蚀液浓度变化而改变.文中对改进的腐蚀模型给出有限差分算法,由每一时刻溶液在具体位置的浓度值得出扩散系数,再由Topography模型计算前端面的腐蚀情况得到腐蚀前端行进的轮廓线.并编程对一些MEMS结构的释放过程进行仿真,最后给出实验验证.
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| 关 键 词： | 牺牲层腐蚀 扩散系数 扩散方程 差分算法 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)02-0207-04 |
| 修稿时间： | 2007年9月30日 |
A modified model and simulation of sacrificial layer etching |
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| Peng Qi,LI Wei-hua.A modified model and simulation of sacrificial layer etching[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(2):207-210. |
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| Authors: | Peng Qi LI Wei-hua |
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| Affiliation: | Key Laboratory of MEMS of Education Ministry, Southeast University, Nanjing 210096 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sacrificial layer etching diffusion coefficient diffusion equation difference algorithm |
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