| 一种电容式微机械加速度计的设计 |
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| 引用本文： | 郑旭东,曹学成,郑阳明,罗斯建,王跃林,金仲和.一种电容式微机械加速度计的设计[J].传感技术学报,2008,21(2):226-229. |
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| 作者姓名： | 郑旭东 曹学成 郑阳明 罗斯建 王跃林 金仲和 |
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| 作者单位： | 浙江大学信息科学与电子工程学系,杭州,310027;浙江大学信息科学与电子工程学系,杭州,310027;浙江大学信息科学与电子工程学系,杭州,310027;浙江大学信息科学与电子工程学系,杭州,310027;浙江大学信息科学与电子工程学系,杭州,310027;浙江大学信息科学与电子工程学系,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计.该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出电压与加速度之间的线性度.对加速度计进行了结构设计和分析.给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决深反应离子刻蚀过程中的过刻蚀现象的方法.初步测试结果表明,该加速度计的灵敏度比较理想,谐振频率与理论计算相吻合.
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| 关 键 词： | 电容式加速度计 微机电系统 深反应离子刻蚀 滑膜阻尼 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)02-0226-04 |
| 修稿时间： | 2007年9月30日 |
Study of a Novel Micromachined Capacitive Accelerometer |
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| ZHENG Xu-dong,CAO Xue-cheng,ZHENG Yang-ming,LUO Si-jian,WANG Yue-lin,JIN Zhong-he.Study of a Novel Micromachined Capacitive Accelerometer[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(2):226-229. |
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| Authors: | ZHENG Xu-dong CAO Xue-cheng ZHENG Yang-ming LUO Si-jian WANG Yue-lin JIN Zhong-he |
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| Affiliation: | Department of Information Science & Electronic Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China |
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| Abstract: | A novel micromachined capacitive accelerometer, based on slide-film damping principle, was reported. The acceleration is measured by modifying the effective overlap area of a differential capacitor pair and the linearity between output voltage and acceleration is ensured. The accelerometer was fabricated on the base of bulk micromachining process and the anodic bonding between the silicon and glass. The rooting effect of the structure in deep reactive ion etching (DRIE) process was investigated.The measurement sensitivity of the accelerometer is very ideal, and the measured resonant frequency of the device is matched well with the theoretical predition. |
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| Keywords: | Capacitive accelerometer MEMS Deep reactive ion etching Slide-film damping |
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