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| 利用MEMS研制微型气流传感器的特性研究 | |
| 引用本文： | 温殿忠,方华军.利用MEMS研制微型气流传感器的特性研究[J].传感技术学报,1998,11(4):51-55. |
| 作者姓名： | 温殿忠 方华军 |
| 作者单位： | 黑龙江大学信息与电子科学系!哈尔滨150080 |
| 摘 要： | 本文在介绍采用硅微电子加工系统制造硅型气流传感器结构和工作原理的基础上，对其测试结果和多晶硅电阻特性进行了分析。 |
| 关 键 词： | 硅微机械加工 气流传感器 多晶硅电阻 特性分析 |
Study on Characteristics of Micro Gas Flow Sensor Using MEMS |
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| Wen Dianzhong Fan Huajun.Study on Characteristics of Micro Gas Flow Sensor Using MEMS[J].Journal of Transduction Technology,1998,11(4):51-55. | |
| Authors: | Wen Dianzhong Fan Huajun |
| Abstract: | Abstract This paper introduces to a new structure and principle of micro-gas flow sensorusing microelectro-mechanical systems, which using results and characteristics have beenanalysized. |
| Keywords: | silicon micromachininggas flow sensorcharactersitics analyses of polysilicon resistances |
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